论文发表：高分辨率石墨烯微电极

博士一年级大越同学、博士二年级村上同学和毕业生青木的论文已发表！

Low-cost fabrication of graphene-based microelectrodes via SU-8 latent-pattern lift-off for organic microdevices, Arata Okoshi, Tatsuya Murakami, Toshiya Aoki, Shotaro Yoshida, Journal of Micromechanics and Microengineering, 36, 045013, (2026). [Link]

以往，对适用于生物电信号测量的有机材料石墨烯进行微细加工，需要复杂且成本高昂的工艺。本研究开发了一种名为“Latent-pattern Lift-off（潜像剥离）”的新型微细加工技术，证明可以极其简便地制造最小尺寸约为2 μm的石墨烯微电极。

具体而言，首先通过光掩模在SU-8光刻胶中曝光形成微图案，但不立即进行通常的显影步骤，而是保留已曝光的潜像（latent-pattern）SU-8。随后，将石墨烯纳米片分散在乙醇中形成的“墨水”旋涂在其表面，再使显影过程穿过石墨烯纳米片薄膜，将潜像以外的SU-8连同石墨烯一并剥离。传统简易剥离法所能制造的最小尺寸为20 μm，而该方法实现了更高分辨率的石墨烯电极。

此外，我们证明该方法可构建适用于神经细胞电信号测量的低阻抗、适用于电刺激的高电容生物传感器，也可构建微执行器用微加热器电极。将其用作栅极、漏极和源极，还能构建有望用于超高灵敏度生物传感的有机电化学晶体管。

这种简便的石墨烯电极制造方法有望用于多种有机微电子与生物MEMS技术，我们将继续开展应用研究。